洁净室系统与净化空调系统详解
洁净室系统与净化空调系统详解
空气洁净技术是一门新的技术,国际上50年代中期以后才开始发展。当时美国由于原于能工业和精密机械及电子工业的需要发展了污染控制及净化技术。特别是1957年前苏联第——颗人造卫星发射成功,震惊丁美国政府,促使美国加快了宇航工业的发展速度,由此也带动了污染控制技术的研究和发展。洁净技术包括工业洁降技术和生物洁净技术两大类洁净室。前者以控制非生物微粒的污染为子要任务,后片则以控制生物微检的污染为:重要任务。
核工业、电子工业、精密仪器利精密机械制造等许多]:业部门部需要生气洁净技术。例如在核反应堆、核燃料制造或处理装置、放射化学操作及其他核操作过程中都要洁净室产生放射件气体和放射性粒子。为了保护周围居民和设备远行人员免受放射性气体祁料子的危害,核空气洁净系统足必不可少的。这种治净系统的特点是具有极高的污染物捕集效率,洁净室因此代价也非常高。
现代电子工业的迅速发展,使Ic(集成电路)的微纫加工技术口趋精密与赵微型化。发达国家所加工的最小图形尺寸(线条宽度)已达2—3ftm,甚于达到lym。大规模集成电路(1,sI)和超大规模集成电路(VtsI)的集成度已达到64K和256K、1M、4M。有害的华埃粒子直径一般认为是加工尺寸的1/5—1/10,因此,在VI。S[制作过程中,为广提高产品的成品率、质量和uJ靠性,被控制尘埃粒径应为o.1Pm。随着产品集成度提高而使用精细的dn I:尺寸以及I:序的增An,由于附着异物引起的产品不合格率将急剧广升*因此,应用洁净技术的洁净厂房在该领域户是非常重要的。
现代生物洁净技术是在工业洁净技术的苯础广发展起来的。第一个生物洁净室是1966年1月在美国建立的。现在生物沽净室已广泛用于宇航业、洁净室医学、制药、牛物实验、 遗传工程和食品工hIL等各方面。
在医学方面,洁净室千要用于做心脏、脑外科、脏器移植等深部手术的手术室;治疗白血病患者、重烧伤病人以及其他对于感染缺乏抵抗力恩有的治疗室以及需要在无菌条件下进行操作的血液工作室等。如白血病患者,其体内的白细胞大量是幼稚型胞,洁净室严重丧失对感染的防御能力,因此在治疗期间防止感染是相当重要的。
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