发布时间:2018-10-19 文章编辑:新美装饰 点击数: 643 次
根据空气循环的特点可以将净化空调车间分为哪几类?
净化空调车间空气循环的特点可分为三种类型:高效供气系统循环空调,湿封系统循环风机和FFU循环系统。
根据空气循环的特点可以将净化空调车间分为哪几类:第一种形式广泛用于小型和低档洁净室车间的设计。对于大型高档洁净室,存在运行成本高,占用空间大等缺点。
根据空气循环的特点可以将净化空调车间分为哪几类:第二种设计可以满足IC制造中大面积,高档无尘车间的要求,但运行成本高,无尘室风速和风量调节困难,系统升级很难,所以操作灵活性很低。
根据空气循环的特点可以将净化空调车间分为哪几类:第三种FFU循环系统不仅节省了操作空间,清洁度和安全性,运行成本低,而且具有很高的操作灵活性。它可以随时升级和调整系统,而不会影响生产。这些都可以满足半导体制造的需要,因此半导体制造业的FFU循环系统正在逐步完善。已成为最重要的净化设计。
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