粒子沉降测试
1. 业主需提供所有的试片与侦测仪器
2. 在IEST-RP-CC-0063将删除
3. 量测大的粒子
4. 使用芯片、玻璃光罩或载玻片收集微粒
5. 使用表面微粒侦测仪或显微镜计算粒子数
6. 程序
6.1 确认无尘室已正常运转
6.2 定格点，格点数需满足使用者需求，每个格点至少放三片见证片
6.3 选用适当方式与仪器
6.4 清洁试片，然后量测背景浓度
6.5 携入测试现场，使用至少三片对照片
6.6 于工作高度量测，量测时间4-48小时或更多
6.7 计算微粒数
计算每片对照片之浓度
取平均值
计算每片见证片之浓度
除以时间，得到单位面积沉积率
对每个格点取算数平均
绘制粒子分布图，记录粒子之粒径
7. 合格？由业主与供货商自行议定！

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